Отрывок: Чем тоньше поверхностная плёнка Si, тем меньше при лазерном термохимическом нагреве она препятствует диффузии кислорода к металлической плёнке, необходимого для процесса её окисления. Однако неоднородность при напылении таких тонких плёнок может не позволить достичь предельных теоретических значений вышеописанных параметров. IX Международная конференция и молодёжная школа «Информационные технологии и нанотехнологии» (ИТНТ-2023) Секция 1. Компьютерная оптика и нанофотоника 010482 ...
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Белоусов Д. А. | ru |
dc.contributor.author | Куц Р. И. | ru |
dc.contributor.author | Корольков В. П. | ru |
dc.coverage.spatial | антиотражающие покрытия | ru |
dc.coverage.spatial | дифракционная оптика | ru |
dc.coverage.spatial | многослойные пленки | ru |
dc.coverage.spatial | термохимические технологии | ru |
dc.coverage.spatial | тонкие пленки металлов | ru |
dc.coverage.spatial | прямая лазерная запись | ru |
dc.creator | Белоусов Д. А., Куц Р. И., Корольков В. П. | ru |
dc.date.accessioned | 2023-10-02 09:45:28 | - |
dc.date.available | 2023-10-02 09:45:28 | - |
dc.date.issued | 2023 | ru |
dc.identifier | RU\НТБ СГАУ\541253 | ru |
dc.identifier.citation | Белоусов, Д. А. Оптимизация параметров двухслойной пленки Si/Ti для термохимической лазерной записи дифракционных структур / Д. А. Белоусов, Р. И. Куц, В. П. Корольков // Информационные технологии и нанотехнологии (ИТНТ-2023) : сб. тр. по материалам IX Междунар. конф. и молодеж. шк. (г. Самара, 17-23 апр. 2023 г.): в 6 т. / М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т систем обраб. изобр. РАН - Фил. Федер. науч.-исслед. центра "Кристаллография и фотоника" Рос. акад. наук. - Самара : Изд-во Самар. ун-та, 2023Т. 1: Компьютерная оптика и нанофотоника / под ред. Е. С. Козловой. - 2023. - С. 010482. | ru |
dc.identifier.uri | http://repo.ssau.ru/handle/Informacionnye-tehnologii-i-nanotehnologii/Optimizaciya-parametrov-dvuhsloinoi-plenki-SiTi-dlya-termohimicheskoi-lazernoi-zapisi-difrakcionnyh-struktur-105568 | - |
dc.description.abstract | В работе представлены результаты оптимизации толщины антиотражающего слоя Si, напыляемого на пленку Ti. Показано, что использованиеантиотражающего слоя кремния позволяет, помимо защиты металлической пленки от окисления в воздушной атмосфере, существенно повысить поглощение лазерного излучения на длинах волн 375 нм, 405 нм и 532 нм для задач термохимической лазерной записи на двухслойных пленках Si/Ti дифракционных структур. | ru |
dc.language.iso | rus | ru |
dc.relation.ispartof | Информационные технологии и нанотехнологии (ИТНТ-2023) : сб. тр. по материалам IX Междунар. конф. и молодеж. шк. (г. Самара, 17-23 апр. 2023 г.): в 6 | ru |
dc.source | Информационные технологии и нанотехнологии (ИТНТ-2023). - Т. 1 : Компьютерная оптика и нанофотоника | ru |
dc.title | Оптимизация параметров двухслойной пленки Si/Ti для термохимической лазерной записи дифракционных структур | ru |
dc.type | Text | ru |
dc.citation.spage | 010482 | ru |
dc.citation.volume | 1 | ru |
dc.textpart | Чем тоньше поверхностная плёнка Si, тем меньше при лазерном термохимическом нагреве она препятствует диффузии кислорода к металлической плёнке, необходимого для процесса её окисления. Однако неоднородность при напылении таких тонких плёнок может не позволить достичь предельных теоретических значений вышеописанных параметров. IX Международная конференция и молодёжная школа «Информационные технологии и нанотехнологии» (ИТНТ-2023) Секция 1. Компьютерная оптика и нанофотоника 010482 ... | - |
Располагается в коллекциях: | Информационные технологии и нанотехнологии |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
978-5-7883-1917-9_2023-010482.pdf | 283.87 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать базовое описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.