Отрывок: Невозможность записи микроструктуры прямым воздействием можно объяснить образованием зоны термического воздействия. В работе [12] было показано, что её ширина составляет не менее половины ширины зоны абляции. Поэтому при движении лазерного пучка по зоне термического воздействия происходит нарушение нормального режима абляции вследствие расфокусировки фокального пятна. а) б) Рис. 1. СЭМ снимок микрос...
Полная запись метаданных
Поле DC Значение Язык
dc.contributor.authorПолетаев, С.Д.-
dc.date.accessioned2017-05-02 12:16:12-
dc.date.available2017-05-02 12:16:12-
dc.date.issued2017-
dc.identifierDspace\SGAU\20170428\63578ru
dc.identifier.citationПолетаев С.Д. Обратная абляция плёнок молибдена под действием лазерного излучения // Сборник трудов III международной конференции и молодежной школы «Информационные технологии и нанотехнологии» (ИТНТ-2017) - Самара: Новая техника, 2017. - С. 18-20.ru
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/handle/Informacionnye-tehnologii-i-nanotehnologii/Obratnaya-ablyaciya-plenok-molibdena-pod-deistviem-lazernogo-izlucheniya-63578-
dc.description.abstractИсследован процесс обратной абляции плёнок молибдена под действием непрерывного лазерного излучения для целей формирования микрорельефа элементов дифракционной оптики. Показано, что данная методика позволяет записывать треки без образования зоны термического воздействия, а также треки высокого качества с минимальной шириной, равной диаметру фокального пятна лазерного излучения.ru
dc.description.sponsorshipРабота выполнена при поддержке грантов РФФИ (№ 16-29-11744, № 16-29-09528).ru
dc.language.isorusru
dc.publisherНовая техникаru
dc.subjectдифракционный микрорельефru
dc.subjectтонкие плёнкиru
dc.subjectлазерная абляцияru
dc.titleОбратная абляция плёнок молибдена под действием лазерного излученияru
dc.typeArticleru
dc.textpartНевозможность записи микроструктуры прямым воздействием можно объяснить образованием зоны термического воздействия. В работе [12] было показано, что её ширина составляет не менее половины ширины зоны абляции. Поэтому при движении лазерного пучка по зоне термического воздействия происходит нарушение нормального режима абляции вследствие расфокусировки фокального пятна. а) б) Рис. 1. СЭМ снимок микрос...-
Располагается в коллекциях: Информационные технологии и нанотехнологии

Файлы этого ресурса:
Файл Описание Размер Формат  
paper 6_18-20.pdfОсновная статья. Раздел: Компьютерная оптика и нанофотоника788.6 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.