Отрывок: При взаимодействии иона азота с атомом алюминия имеем МAl/МN2 = 0,962 и α = 0,3 [14], тогда S2λe=1,238. Данное значение коэффициента распыления показывает, что ион способен удалять атомы поверхности катода в области ячеек сетки катода, образуя ямки травления, глубина которых, согласно рис. 2в, составляет 300 мкм. Скорость распыления, определяемая по формуле [14]:       A keku Ne MSj , (4) где jи – плотност...
Полная запись метаданных
Поле DC Значение Язык
dc.contributor.authorКолпаков, В.А.-
dc.contributor.authorКричевский, С.В.-
dc.contributor.authorГрафкин, В.В.-
dc.contributor.authorМаркушин, М.А.-
dc.contributor.authorСтрукель, Ю.С.-
dc.contributor.authorСеров, С.Г.-
dc.date.accessioned2016-12-08 14:59:46-
dc.date.available2016-12-08 14:59:46-
dc.date.issued2016-
dc.identifierDspace\SGAU\20161208\60643ru
dc.identifier.citationМатериалы Международной конференции и молодёжной школы «Информационные технологии и нанотехнологии», с. 192-198ru
dc.identifier.isbn978-5-7883-1078-7-
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/handle/Informacionnye-tehnologii-i-nanotehnologii/Generator-vneelektrodnoi-plazmy-s-polym-katodom-60643-
dc.description.abstractПредложен генератор формирующий широкоапертурный поток отрицательно заряженных частиц плазмы с сечением 120 мм. Параметры генератора: ток разряда - 1 А; ускоряющее напряжение от 0.3 до 6 кВ; плотность тока до 10 мА/см2; длина потока до 50 см; равномерность распределения заряженных частиц по сечению потока плазмы не хуже 98%. Конструкция генератора содержит коаксиально расположенные ячейки сетчатого анода и сетки катода, замыкающей полость в его объеме глубиной L = 3–5 длин свободного пробега электрона в потоке газоразрядной плазмы. Расстояние между сетчатым анодом и сеткой катода равно темному астоновому пространству тлеющего разряда. Показано, что длительность непрерывной работы катода и диапазон рабочих давлений определяются выбранными значениями глубины его полости и ускоряющего напряжения.ru
dc.language.isorusru
dc.publisherИздательство СГАУru
dc.subjectгенератор внеэлектродной плазмыru
dc.subjectполый катодru
dc.subjectформирование оптических микроструктурru
dc.titleГенератор внеэлектродной плазмы с полым катодомru
dc.typeArticleru
dc.textpartПри взаимодействии иона азота с атомом алюминия имеем МAl/МN2 = 0,962 и α = 0,3 [14], тогда S2λe=1,238. Данное значение коэффициента распыления показывает, что ион способен удалять атомы поверхности катода в области ячеек сетки катода, образуя ямки травления, глубина которых, согласно рис. 2в, составляет 300 мкм. Скорость распыления, определяемая по формуле [14]:       A keku Ne MSj , (4) где jи – плотност...-
Располагается в коллекциях: Информационные технологии и нанотехнологии

Файлы этого ресурса:
Файл Описание Размер Формат  
192-198.pdfОсновная статья566.41 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.