Отрывок: Ɉɛɪɚɡɰɵ, ɩɨɞɝɨɬɨɜɥɟɧɧɵɟ ɩɭɬɟɦ ɜɵɞɟɪɠɤɢ ɜ ɩɟɱɢ ɩɪɢ ɬɟɦɩɟɪɚɬɭɪɟ 600ºɋ ɩɨɤɚɡɚɥɢ ɫɩɟɤɬɪ ɚɧɚɥɨɝɢɱɧɵɣ ɫɩɟɤɬɪɭ, ɩɪɢɜɟɞɟɧɧɨɦɭ ɜ ДλЖ. ȼ ɬɚɛɥɢɰɟ 1 ɩɪɢɜɟɞɟɧɵ ɪɟɡɭɥɶɬɚɬɵ ɪɟɧɬɝɟɧɨɫɩɟɤɬɪɚɥɶɧɨɝɨ ɚɧɚɥɢɡɚ ɷɥɟɦɟɧɬɧɨɝɨ ɫɨɫɬɚɜɚ ɩɨɜɟɪɯɧɨɫɬɢ ɨɛɪɚɡɰɚ ɞɨ ɢ ɩɨɫɥɟ ɥɚɡɟɪɧɨɝɨ ɜɨɡɞɟɣɫɬɜɢɹ. ȼɢɞɧɨ, ɱɬɨ ɩɨɫɥɟ ɨɛɪɚɛɨɬɤɢ ɤɨɥɢɱɟɫɬɜɨ ɤɢɫɥɨɪɨɞɚ ɜɨɡɪɚɫɬɚɟɬ ɜ 1,5 ɪɚɡɚ, ɢ, ɧɟɫɦɨɬɪɹ ɧɚ ɬɨ, ɱɬ...
Название : | Формирование микро- и наноструктур на пленках молибдена по технологии лазерной абляции |
Авторы/Редакторы : | Полетаев, С.Д. |
Ключевые слова : | тонкие пленки молибдена лазерная абляция микроструктуры наноструктуры |
Дата публикации : | 2015 |
Издательство : | Издательство Самарского научного центра РАН |
Библиографическое описание : | Информационные технологии и нанотехнологии (ИТНТ-2015): материалы Международной конференции и молодежной школы. – Самара: Изд-во СамНЦ РАН, 2015. – с. 358-362 |
Аннотация : | Рассматриваются технологические основы формирования микро- и наноструктур в тонких пленках молибдена методом локальной лазерной абляции. На пленках молибдена с толщинами 17-45 нм, нанесенных на диэлектрическое основание, были получены круговые решетки щелей с размерами 0,2-0,3 мкм, что приблизительно в 3-4 раза меньше диаметра воздействующего фокального пятна (d=0,8 мкм). Обнаружено, что испарение пленок происходит при существенно меньших значениях плотности мощности лазерного излучения, чем следует из расчетов. С целью объяснить несоответствия между практическими и теоретическими данными представлено модельное описание термоокислительной деструкции пленок. Для проверки модельного описания приводятся результаты исследований оптических свойств пленок, их химического и элементного состава. Феномен сокращения размера зоны абляции объяснен с применением численного моделирования данного процесса. |
URI (Унифицированный идентификатор ресурса) : | http://repo.ssau.ru/handle/Informacionnye-tehnologii-i-nanotehnologii/Formirovanie-mikro-i-nanostruktur-na-plenkah-molibdena-po-tehnologii-lazernoi-ablyacii-62614 |
ISBN : | 978-5-93424-739-4 |
Другие идентификаторы : | Dspace\SGAU\20170309\62614 |
Располагается в коллекциях: | Информационные технологии и нанотехнологии |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
itnt_2015_89.pdf | Основная статья | 280.53 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать полное описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.