Отрывок:
Название : Метод формирования элементов дифракционной оптики с повышенной разрешающей способностью на основе тонких пленок хрома, термически окисленных локальным воздейств
Авторы/Редакторы : Агафонов А. Н.
Самарский государственный аэрокосмический университет им. С. П. Королева
Дата публикации : 2011
Библиографическое описание : Агафонов, А. Н. Метод формирования элементов дифракционной оптики с повышенной разрешающей способностью на основе тонких пленок хрома, термически окисленных локальным воздействием лазерного излучения [Электронный ресурс] : дис. ... канд. техн. наук : 01.04.01 : защищена 07.10.2011 / Агафонов Андрей Николаевич ; Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева (СГАУ). - Самара, 2011. - on-line
Аннотация : ДСП
Другие идентификаторы : RU/НТБ СГАУ/WALL/Дис/А 235-848385
Ключевые слова: дифракционные оптические элементы
фотолитография
элементы дифракционной оптики
термохимическое окисление
лазерное излучение
Располагается в коллекциях: Диссертации (Закрыто)

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Агафонов А.И. Метод формирования.pdf141.99 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть  



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.