Отрывок: б в г д Рисунок 3 - Вид поверхности исследуемых подложек, полученный на сканирующем зондовом микроскопе (СЗМ) Solver PRO-M фирмы ”НТ-МДТ” а,б - изображение и профилограмма исходной поверхности, соответственно; в - микрофотография исследуемой поверхности (1 – при нагрузке подложки-зонда на исследуемую поверхность 0,2кг; 2 – 0,3 кг); г- профилограмма в области участка 2; д – АСМ изображение исследуемой...
Название : Разработка приборов анализа и повышения степени чистоты поверхности диоксида кремния
Авторы/Редакторы : Кричевский С. В.
Самарский государственный аэрокосмический университет им. С. П. Королева
Российская академия наук
Дата публикации : 2008
Библиографическое описание : Кричевский, С. В. Разработка приборов анализа и повышения степени чистоты поверхности диоксида кремния [Электронный ресурс] : автореферат дис. ... канд. техн. наук : 01.04.01 / С. В. Кричевский ; Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева, Ин-т систем обраб. изображений РАН. - Самара, 2008. - on-line
Аннотация : Труды сотрудников СГАУ (электрон. версия)
Используемые программы: Adobe Acrobat
Другие идентификаторы : RU/НТБ СГАУ/WALL/Автореф/К 828-389305
Ключевые слова: диоксид кремния
экспериментальная физика
приборы анализа и повышения степени чистоты поверхности
Располагается в коллекциях: Авторефераты

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Кричевский С.В.pdf4.65 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.