Отрывок: За стадией травления следует стадия пассивации. Плазма создается из газа C4F8. Ионы C4F8 образуют полимер, который осаждается на поверхности образца. Этот полимер не реагирует с плазмой травления и обеспечивает защиту от дальнейшего травления для кремния, который находится под ним. Ионы под действием электрического поля выбивают полимер с поверхности, удаляя его только на дне канавки, ...
Полная запись метаданных
Поле DC Значение Язык
dc.contributor.authorМокшин, П.В.-
dc.date.accessioned2019-06-17 10:17:24-
dc.date.available2019-06-17 10:17:24-
dc.date.issued2019-05-
dc.identifierDspace\SGAU\20190613\77424ru
dc.identifier.citationМокшин, П.В. Синтез кремниевых нитевидных нанокристаллов с помощью процесса плазмохимического травления для приложений фотовольтаики / П.В. Мокшин // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций: материалы Всероссийской научно-технической конференции (г. Самара, 14-16 мая 2019 г.) / Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева, под. ред. А. И. Данилина - Самара : ООО «АРТЕЛЬ», 2019. – С. 145-147.ru
dc.identifier.isbn978-5-903-943-11-1-
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/handle/Aktualnye-problemy-radioelektroniki-i-telekommunikacii/Sintez-kremnievyh-nitevidnyh-nanokristallov-s-pomoshu-processa-plazmohimicheskogo-travleniya-dlya-prilozhenii-fotovoltaiki-77424-
dc.language.isorusru
dc.publisherООО "АРТЕЛЬ"ru
dc.subjectНанокристаллыru
dc.subjectПлазмохимическое травлениеru
dc.titleСинтез кремниевых нитевидных нанокристаллов с помощью процесса плазмохимического травления для приложений фотовольтаикиru
dc.typeThesisru
dc.textpartЗа стадией травления следует стадия пассивации. Плазма создается из газа C4F8. Ионы C4F8 образуют полимер, который осаждается на поверхности образца. Этот полимер не реагирует с плазмой травления и обеспечивает защиту от дальнейшего травления для кремния, который находится под ним. Ионы под действием электрического поля выбивают полимер с поверхности, удаляя его только на дне канавки, ...-
dc.classindex.udc62-932.4-
Располагается в коллекциях: Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций

Файлы этого ресурса:
Файл Описание Размер Формат  
145-147.pdfСинтез кремниевых нитевидных нанокристаллов с помощью процесса плазмохимического травления для приложений фотовольтаики216.99 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.