Отрывок:
Название : Разработка, изготовление и исследование симметрично-разделенного гироскопа в МЭМС-исполнении
Авторы/Редакторы : Верма П.
Павельев В. С.
Володкин Б. О.
Тукмаков К. Н.
Решетников А. С.
Андреева Т. В.
Фомченков С. А.
Хонина С. Н.
Дата публикации : 2016
Библиографическое описание : Разработка, изготовление и исследование симметрично-разделенного гироскопа в МЭМС-исполнении / П. Верма, В. С. Павельев, Б. О. Володкин, К. Н. Тукмаков, А. С. Решетников, Т. В. Андреева, С. А. Фомченков, С. Н. Хонина // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций [Электронный ресурс] : материалы Всерос. науч.-техн. конф. (г. Самара, 16-18 мая 2016 г.) / Министерство образования и науки Российской Федерации, Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет); под ред. А. И. Данилина. - Самара : ООО "Офорт", 2016. - С. 154-157.
Другие идентификаторы : Dspace\SGAU\20161124\60121
Ключевые слова: инерциальные гироскопы
SOI-процесс
виброгироскопы в МЭМС-исполнении
МЭМС технология
ускорение Кориолиса
симметрично-разделенные гироскопы
технологии DRIE
тактические гироскопы
скоростные гироскопы
Располагается в коллекциях: Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций

Файлы этого ресурса:
Файл Описание Размер Формат  
154-157.pdfОсновная статья255.86 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.