Отрывок: РАЗРАБОТКА И ИССЛЕДОВАНИЕ ГАЗОВОГО СЕНСОРА НА ОСНОВЕ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ МАТЕРИАЛОВ СОСТАВА 81028п0хА §0у Т. Н. Назарова Технический институт Ю жФУ, г. Таганрог В данной работе разработана технология получения тонкопленоч­ ных материалов из растворов гидролизующихся соединений. Подобран состав и соотношение компонентов в пленкообразующем растворе. И с­ ходными компонентами для...
Название : Разработка и исследование газового сенсора на тонкопленочных материалах состава SiO[2]SnO[x]AgO[y]
Авторы/Редакторы : Назарова Т. Н.
Дата публикации : 2007
Библиографическое описание : Назарова, Т. Н. Разработка и исследование газового сенсора на тонкопленочных материалах состава SiO[2]SnO[x]AgO[y] / Т. Н. Назарова // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций [Электронный ресурс] : материалы Всерос. науч.-техн. конф., 14 - 16 мая 2007 г. / М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; [под ред. И. Г. Мироненко, М. Н. Пиганова]. - Самара : СГАУ, 2007. - С. 56-57.
Другие идентификаторы : RU\НТБ СГАУ\534131
Ключевые слова: тонкопленочные материалы
кремниевые подложки
пленкообразующие растворы
Располагается в коллекциях: Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Стр.-56-57.pdf57.91 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.