Отрывок: 1, а для больш их времён окисления (1,8-104 с ) в атмосфере влаж ного кислорода (то есть при значении параметра т-0). На рис. 2 представлена температурная зависимость параметра B -ft\IT ) , построенная в полулогарифмических координатах для температур 900, 1000 и 1100 С. Представляется естественны м, что параметр В зависит от температуры по закону А ррениуса: где В0 - начальны й коэф фициент, ...
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Айзикович А. А. | ru |
dc.contributor.author | Демаков Ю. П. | ru |
dc.coverage.spatial | окисление кремния | ru |
dc.coverage.spatial | окисление полупроводников | ru |
dc.coverage.spatial | окисная пленка | ru |
dc.coverage.spatial | модель Дила-Гроува | ru |
dc.coverage.spatial | кремниевые интегральные схемы | ru |
dc.creator | Айзикович А. А., Демаков Ю. П. | ru |
dc.date.accessioned | 2019-12-16 15:48:28 | - |
dc.date.available | 2019-12-16 15:48:28 | - |
dc.date.issued | 2011 | ru |
dc.identifier | RU\НТБ СГАУ\431581 | ru |
dc.identifier.citation | Айзикович, А. А. Расчет параметров модели Дила-Гроува окисления кремния / А. А. Айзикович, Ю. П. Демаков // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций [Электронный ресурс] : материалы Всерос. науч.-техн. конф., 10-12 мая 2011 г. / М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева (нац. исслед. ун-т) ; [под ред. М. Н. Пиганова]. - 2011. - С. 72-77 | ru |
dc.identifier.uri | http://repo.ssau.ru/handle/Aktualnye-problemy-radioelektroniki-i-telekommunikacii/Raschet-parametrov-modeli-DilaGrouva-okisleniya-kremniya-80919 | - |
dc.source | Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций [Электронный ресурс] : материалы Всерос. науч.-техн. конф., 10-12 мая 2011 г. | ru |
dc.title | Расчет параметров модели Дила-Гроува окисления кремния | ru |
dc.type | Text | ru |
dc.citation.epage | 77 | ru |
dc.citation.spage | 72 | ru |
dc.textpart | 1, а для больш их времён окисления (1,8-104 с ) в атмосфере влаж ного кислорода (то есть при значении параметра т-0). На рис. 2 представлена температурная зависимость параметра B -ft\IT ) , построенная в полулогарифмических координатах для температур 900, 1000 и 1100 С. Представляется естественны м, что параметр В зависит от температуры по закону А ррениуса: где В0 - начальны й коэф фициент, ... | - |
Располагается в коллекциях: | Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
Актуальные проблемы 2011-72-77.pdf | 136.71 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать базовое описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.