Отрывок:
Полная запись метаданных
Поле DC Значение Язык
dc.contributor.authorПантелей Е.ru
dc.contributor.authorАрхипов А. В.ru
dc.coverage.spatialмикроэлектронные изделияru
dc.coverage.spatialмикроструктура пленкиru
dc.coverage.spatialтонкие проводящие пленкиru
dc.coverage.spatialрост проводящих пленокru
dc.coverage.spatialлокальное изменение энергии связиru
dc.coverage.spatialинтегральная оптикаru
dc.coverage.spatialкомпьютерное моделированиеru
dc.creatorПантелей Е., Архипов А. В.ru
dc.date.issued2018ru
dc.identifierDspace\SGAU\20180610\70184ru
dc.identifier.citationПантелей, Е. Моделирование процесса роста тонких проводящих пленок / Е. Пантелей, А. В. Архипов // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций [Электронный ресурс] : материалы Всероc. науч.-техн. конф. (г. Самара, 15-17 мая 2018 г.) / М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т) ; под ред. А. И. Данилина. - 2018. - С. 181-182. - ISBN = 978-5-473-01191-3ru
dc.identifier.isbn978-5-473-01191-3ru
dc.language.isorusru
dc.sourceАктуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций [Электронный ресурс] : материалы Всероc. науч.-техн. конф. (г. Самара, 15-17 мая 2018 г.)ru
dc.titleМоделирование процесса роста тонких проводящих пленокru
dc.typeTextru
dc.citation.epage182ru
dc.citation.spage181ru
dc.subject.udc539.233ru
Располагается в коллекциях: Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций

Файлы этого ресурса:
Файл Описание Размер Формат  
181-182.pdfМоделирование процесса роста тонких проводящих пленок181.56 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.