Отрывок:
Полная запись метаданных
Поле DC Значение Язык
dc.contributor.authorОндырбаев Н. Н.ru
dc.contributor.authorКолпаков В. А.ru
dc.coverage.spatialинтегральные схемыru
dc.coverage.spatialдиоксид кремнияru
dc.coverage.spatialдифракционная оптикаru
dc.coverage.spatialгазоразрядное устройствоru
dc.coverage.spatialтравлениеru
dc.coverage.spatialскорость травленияru
dc.coverage.spatialнизкотемпературная плазмаru
dc.coverage.spatialмикроэлектроникаru
dc.creatorОндырбаев Н. Н., Колпаков В. А.ru
dc.date.issued2018ru
dc.identifierDspace\SGAU\20180608\70147ru
dc.identifier.citationОндырбаев, Н. Н. Моделирование механизмов травления частицами низкотемпературной плазмы диоксида кремния / Н. Н. Ондырбаев, В. А. Колпаков // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций [Электронный ресурс] : материалы Всероc. науч.-техн. конф. (г. Самара, 15-17 мая 2018 г.) / М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т) ; под ред. А. И. Данилина. - 2018. - С. 120-122. - ISBN = 978-5-473-01191-3ru
dc.identifier.isbn978-5-473-01191-3ru
dc.language.isorusru
dc.sourceАктуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций [Электронный ресурс] : материалы Всероc. науч.-техн. конф. (г. Самара, 15-17 мая 2018 г.)ru
dc.titleМоделирование механизмов травления частицами низкотемпературной плазмы диоксида кремнияru
dc.typeTextru
dc.citation.epage122ru
dc.citation.spage120ru
dc.subject.udc533.915ru
dc.subject.udc621.794.4ru
Располагается в коллекциях: Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций

Файлы этого ресурса:
Файл Описание Размер Формат  
120-122.pdfМоделирование механизмов травления частицами низкотемпературной плазмы диоксида кремния188.15 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.