Отрывок:
Название : Моделирование механизмов травления частицами низкотемпературной плазмы диоксида кремния
Авторы/Редакторы : Ондырбаев Н. Н.
Колпаков В. А.
Дата публикации : 2018
Библиографическое описание : Ондырбаев, Н. Н. Моделирование механизмов травления частицами низкотемпературной плазмы диоксида кремния / Н. Н. Ондырбаев, В. А. Колпаков // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций [Электронный ресурс] : материалы Всероc. науч.-техн. конф. (г. Самара, 15-17 мая 2018 г.) / М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т) ; под ред. А. И. Данилина. - 2018. - С. 120-122. - ISBN = 978-5-473-01191-3
ISBN : 978-5-473-01191-3
Другие идентификаторы : Dspace\SGAU\20180608\70147
Ключевые слова: интегральные схемы
диоксид кремния
дифракционная оптика
газоразрядное устройство
травление
скорость травления
низкотемпературная плазма
микроэлектроника
Располагается в коллекциях: Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций

Файлы этого ресурса:
Файл Описание Размер Формат  
120-122.pdfМоделирование механизмов травления частицами низкотемпературной плазмы диоксида кремния188.15 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать полное описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.