Отрывок:
Название : | Многолучевой генератор плазмы для изготовления сплавных контактов полупроводниковых диодов |
Авторы/Редакторы : | Колпаков В. А. Кричевский С. В. Маркушин М. А. Кашапова Е. С. Струкель Ю. С. |
Дата публикации : | 2016 |
Библиографическое описание : | Многолучевой генератор плазмы для изготовления сплавных контактов полупроводниковых диодов / В. А. Колпаков, С. В. Кричевский, М. А. Маркушин, Е. С. Кашапова, Ю. С. Струкель // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций [Электронный ресурс] : материалы Всерос. науч.-техн. конф. (г. Самара, 16-18 мая 2016 г.) / Министерство образования и науки Российской Федерации, Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет); под ред. А. И. Данилина. - Самара : ООО "Офорт", 2016. - С. 148-150. |
Другие идентификаторы : | Dspace\SGAU\20161123\60112 |
Ключевые слова: | многолучевой генератор плазмы полупроводниковые приборы полупроводниковые диоды низкотемпературная плазма генератор газоразрядной плазмы кассеты для сплавления элементов сплавные контакты |
Располагается в коллекциях: | Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
148-150.pdf | Основная статья | 259.96 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать полное описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.