Отрывок: Рассмотрена практическая реализация разработанного метода для испытаний подзатворного диэлектрика КМДП-ИС серии 564 на ОАО «Восход» г. Калуга. Отмечается, что применение метода в системах управления технологическим процессом получения подзатворного диэлектрика не требует разработки специальной измерительной аппаратуры. Автоматизированный контроль ИМП, "у , ДиМДП может проводиться с помощью автоматизированной установки инжекционн...
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Чухраев И. В. | ru |
dc.coverage.spatial | подзатворные диэлектрики | ru |
dc.coverage.spatial | оперативное управление топологическим процессом | ru |
dc.coverage.spatial | качество технологической операции | ru |
dc.coverage.spatial | качество подзатворного диэлектрика | ru |
dc.coverage.spatial | испытания в сильных электрических полях | ru |
dc.coverage.spatial | испытания подзатворного диэлектрика | ru |
dc.coverage.spatial | топологические процессы получения подзатворного диэлектрика | ru |
dc.creator | Чухраев И. В. | ru |
dc.date.accessioned | 2022-10-17 14:26:40 | - |
dc.date.available | 2022-10-17 14:26:40 | - |
dc.date.issued | 2005 | ru |
dc.identifier | RU\НТБ СГАУ\487817 | ru |
dc.identifier.citation | Чухраев, И. В. Методические основы оперативного управления топологическим процессом получения подзатворного диэлектрика МДП микросхем / И. В. Чухраев // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф., 12-13 мая 2005 г. / М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; под ред. И. Г. Мироненко, М. Н. Пиганова. - Самаpа : СГАУ, 2005. - С. 73-75. | ru |
dc.identifier.uri | http://repo.ssau.ru/handle/Aktualnye-problemy-radioelektroniki-i-telekommunikacii/Metodicheskie-osnovy-operativnogo-upravleniya-topologicheskim-processom-polucheniya-podzatvornogo-dielektrika-MDP-mikroshem-99420 | - |
dc.language.iso | rus | ru |
dc.source | Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф., 12-13 мая 2005 г. - Текст : электронный | ru |
dc.title | Методические основы оперативного управления топологическим процессом получения подзатворного диэлектрика МДП микросхем | ru |
dc.type | Text | ru |
dc.citation.epage | 75 | ru |
dc.citation.spage | 73 | ru |
dc.textpart | Рассмотрена практическая реализация разработанного метода для испытаний подзатворного диэлектрика КМДП-ИС серии 564 на ОАО «Восход» г. Калуга. Отмечается, что применение метода в системах управления технологическим процессом получения подзатворного диэлектрика не требует разработки специальной измерительной аппаратуры. Автоматизированный контроль ИМП, "у , ДиМДП может проводиться с помощью автоматизированной установки инжекционн... | - |
Располагается в коллекциях: | Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
Стр.-73-75.pdf | 153.57 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать базовое описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.