Отрывок: Рассмотрена практическая реализация разработанного метода для испытаний подзатворного диэлектрика КМДП-ИС серии 564 на ОАО «Восход» г. Калуга. Отмечается, что применение метода в системах управления технологическим процессом получения подзатворного диэлектрика не требует разработки специальной измерительной аппаратуры. Автоматизированный контроль ИМП, "у , ДиМДП может проводиться с помощью автоматизированной установки инжекционн...
Полная запись метаданных
Поле DC Значение Язык
dc.contributor.authorЧухраев И. В.ru
dc.coverage.spatialподзатворные диэлектрикиru
dc.coverage.spatialоперативное управление топологическим процессомru
dc.coverage.spatialкачество технологической операцииru
dc.coverage.spatialкачество подзатворного диэлектрикаru
dc.coverage.spatialиспытания в сильных электрических поляхru
dc.coverage.spatialиспытания подзатворного диэлектрикаru
dc.coverage.spatialтопологические процессы получения подзатворного диэлектрикаru
dc.creatorЧухраев И. В.ru
dc.date.accessioned2022-10-17 14:26:40-
dc.date.available2022-10-17 14:26:40-
dc.date.issued2005ru
dc.identifierRU\НТБ СГАУ\487817ru
dc.identifier.citationЧухраев, И. В. Методические основы оперативного управления топологическим процессом получения подзатворного диэлектрика МДП микросхем / И. В. Чухраев // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф., 12-13 мая 2005 г. / М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; под ред. И. Г. Мироненко, М. Н. Пиганова. - Самаpа : СГАУ, 2005. - С. 73-75.ru
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/handle/Aktualnye-problemy-radioelektroniki-i-telekommunikacii/Metodicheskie-osnovy-operativnogo-upravleniya-topologicheskim-processom-polucheniya-podzatvornogo-dielektrika-MDP-mikroshem-99420-
dc.language.isorusru
dc.sourceАктуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф., 12-13 мая 2005 г. - Текст : электронныйru
dc.titleМетодические основы оперативного управления топологическим процессом получения подзатворного диэлектрика МДП микросхемru
dc.typeTextru
dc.citation.epage75ru
dc.citation.spage73ru
dc.textpartРассмотрена практическая реализация разработанного метода для испытаний подзатворного диэлектрика КМДП-ИС серии 564 на ОАО «Восход» г. Калуга. Отмечается, что применение метода в системах управления технологическим процессом получения подзатворного диэлектрика не требует разработки специальной измерительной аппаратуры. Автоматизированный контроль ИМП, "у , ДиМДП может проводиться с помощью автоматизированной установки инжекционн...-
Располагается в коллекциях: Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Стр.-73-75.pdf153.57 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.