Отрывок:
Название : Метод изготовления микрофлюидных устройств на стеклянных подложках
Авторы/Редакторы : Агафонов А. Н.
Горовенко Т. А.
Дата публикации : 2016
Библиографическое описание : Агафонов, А. Н. Метод изготовления микрофлюидных устройств на стеклянных подложках / А. Н. Агафонов, Т. А. Горовенко // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций [Электронный ресурс] : материалы Всерос. науч.-техн. конф. (г. Самара, 16-18 мая 2016 г.) / Министерство образования и науки Российской Федерации, Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет); под ред. А. И. Данилина. - Самара : ООО "Офорт", 2016. - С. 158-160.
Другие идентификаторы : Dspace\SGAU\20161124\60127
Ключевые слова: оптика
микромеханика
микротехнология
микрофлюидные системы
гидравлика
глубокое жидкостное травление
интегрированные устройства
соединения стеклянных подложек
стеклянные подложки
Располагается в коллекциях: Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций

Файлы этого ресурса:
Файл Описание Размер Формат  
158-160.pdfОсновная статья341.09 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать полное описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.