Отрывок: На поверхности пленок отсутствуют грубые дефекты, а края элемента имеют четкий контур (рисунок 2). Поверхностные дефекты определялись методом растровой электронной микроскопии с помощью РЭМ «Quanta 200». Рисунок 1 – График распределения толщин пленок Cr и Сu в месте контакта ...
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Воеводина П. А. | ru |
dc.contributor.author | Советкина М. А. | ru |
dc.coverage.spatial | тонкопленочные резистивные элементы | ru |
dc.coverage.spatial | тонкопленочные технологии | ru |
dc.coverage.spatial | поверхностные дефекты | ru |
dc.coverage.spatial | сравнительный анализ | ru |
dc.coverage.spatial | растровая электронная микроскопия | ru |
dc.coverage.spatial | интерферометры белого света | ru |
dc.coverage.spatial | магнетронное распыление | ru |
dc.coverage.spatial | контроль параметров | ru |
dc.creator | Воеводина П. А., Советкина М. А. | ru |
dc.date.issued | 2024 | ru |
dc.identifier | RU\НТБ СГАУ\554817 | ru |
dc.identifier.citation | Воеводина, П. А. Исследование параметров тонкопленочных резистивных элементов / П. А. Воеводина, М. А. Советкина // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф. (г.Самара, 23-26 апр. 2024 г.) / Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т) ; под ред. В. А. Зеленского. - Самара : [Артель], 2024. - С. 283-285. | ru |
dc.language.iso | rus | ru |
dc.source | Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф. (г.Самара, 23-26 апр. 2024 г.). - Текст : электронный | ru |
dc.title | Исследование параметров тонкопленочных резистивных элементов | ru |
dc.type | Text | ru |
dc.citation.epage | 285 | ru |
dc.citation.spage | 283 | ru |
dc.textpart | На поверхности пленок отсутствуют грубые дефекты, а края элемента имеют четкий контур (рисунок 2). Поверхностные дефекты определялись методом растровой электронной микроскопии с помощью РЭМ «Quanta 200». Рисунок 1 – График распределения толщин пленок Cr и Сu в месте контакта ... | - |
Располагается в коллекциях: | Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
978-5-903943-20-3_2024-283-285.pdf | 464.15 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать базовое описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.