Отрывок: Очистка поверхности подложек в данных режимах позволяет достигать технологической чистоты поверхности, что хорошо подтверждает сравнение зависимостей адгезии медных пленок к поверхно­ сти кварцевых подложек от времени их загрязнения без финишной очистки, после отжига структуры медная пленка загрязнение кварцевая подложка в высоковольтном разряде (/ =100 мА; и =2 кВ; / =5 мин) и после финишной ...
Полная запись метаданных
Поле DC Значение Язык
dc.contributor.authorКазанский Н. Л.ru
dc.contributor.authorКолпаков В. А.ru
dc.contributor.authorКолпаков А. И.ru
dc.contributor.authorКричевский С. В.ru
dc.coverage.spatialтехнологическая чистота поверхности подложекru
dc.coverage.spatialУВН-2М-1ru
dc.coverage.spatialдиэлектрические подложкиru
dc.creatorКазанский Н. Л., Колпаков В. А., Колпаков А. И., Кричевский С. В.ru
dc.date.issued2007ru
dc.identifierRU\НТБ СГАУ\534072ru
dc.identifier.citationИсследование механизмов формирования технологически чистой поверхности / Н. Л. Казанский, В. А. Колпаков, А. И. Колпаков, С. В. Кричевский // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций [Электронный ресурс] : материалы Всерос. науч.-техн. конф., 14 - 16 мая 2007 г. / М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; [под ред. И. Г. Мироненко, М. Н. Пиганова]. - Самара : СГАУ, 2007. - С. 46-48.ru
dc.language.isorusru
dc.sourceАктуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций [Электронный ресурс] : материалы Всерос. науч.-техн. конф., 14 - 16 мая 2007 г.ru
dc.titleИсследование механизмов формирования технологически чистой поверхностиru
dc.typeTextru
dc.citation.epage48ru
dc.citation.spage46ru
dc.textpartОчистка поверхности подложек в данных режимах позволяет достигать технологической чистоты поверхности, что хорошо подтверждает сравнение зависимостей адгезии медных пленок к поверхно­ сти кварцевых подложек от времени их загрязнения без финишной очистки, после отжига структуры медная пленка загрязнение кварцевая подложка в высоковольтном разряде (/ =100 мА; и =2 кВ; / =5 мин) и после финишной ...-
Располагается в коллекциях: Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Стр.-46-48.pdf73.59 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.