Просмотр собрания по группе - Тема BOSCH процессы

Перейти к: 0-9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Y Z

А Б В Г Д Е Ж З И Й К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Ц Ч Ш Щ Ъ Ы Ь Э Ю Я

или введите несколько первых букв:  
Результаты 1 по 6 из 6
Год издания Название Автор(ы) Экспорт
2017Глубокое анизотропное плазмохимическое травление кремниевой подложкиШурупова А. С.; Володкин Б. О.; Братченко И. А.; Министерство образования и науки Российской Федерации; Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет); Институт информатики; математики и электроники
2017Изготовление МЕМС структур в объеме кремниевой пластиныПунин К. В.; Володкин Б. О.; Братченко И. А.; Министерство образования и науки Российской Федерации; Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)
2021Исследование особенностей и селективности сухого травления кремния с использованием мягких масокГзиришвили Л. Г.; Харитонов С. И.; Шишкина Д. А.; Министерство науки и высшего образования Российской Федерации; Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет); Институт информатики; математики и электроники
2021Исследование особенностей и селективности сухого травления кремния с использованием твердых масокГзиришвили Н. Г.; Харитонов С. И.; Шишкина Д. А.; Министерство науки и высшего образования Российской Федерации; Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет); Институт информатики; математики и электроники
2020Получение маскирующих покрытий методом электронной литографии для сухого травленияХоробров В. С.; Паранин В. Д.; Министерство науки и высшего образования Российской Федерации; Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет); Институт информатики; математики и электроники
2018Разработка технологии изготовления трехуровневого кремниевого микрорельефа для задач дифракционной оптикиМихайлов Д. С.; Павельев В. С.; Полетаев С. Д.; Министерство образования и науки Российской Федерации; Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет); Институт информатики; математики и электроники
Результаты 1 по 6 из 6